| Fabrikant | Suss |
|---|---|
| Model | PM-5 |
| Bouwjaar | |
| Plaats | Verenigde Staten
|
| Categorie | Halfgeleiders - Metrologieapparatuur |
| Software | |
| Draaiuren | |
| uur onder stroom | |
| staat | Goed |
| Volgens lokale normen | --------- |
| toestand | zichtbaar |
| Laatste beschikbaarheidsdatum | 10/03/2026 |
| Product-ID | P240314065 |
| Taal |
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 sonda
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
"Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
|
De Suss PM-5 is een precisie-metrologiesysteem ontworpen voor het hanteren van wafer en substraat met een maximale grootte van maximaal 6 inch (150 mm diameter). Het beschikt over een X-, Y- en Theta-positieconfiguratie die hoge nauwkeurigheid en flexibiliteit in positionering biedt. Het platform biedt een bewegingsbereik van 155 x 155 mm met een resolutie van 5 µm en vlakheid onder de 10 µm over 6 inch, wat zorgt voor precieze uitlijning. De Y-as heeft een belastingsslag van 90 mm, terwijl het Z-hoogteverstellingsbereik 10 mm is met een contact-/scheidingsslag van 3 mm. De standaard Theta-reis maakt een volledige 360° rotatie mogelijk, met een optionele fijne Theta-reis van ±10° voor verbeterde hoeknauwkeurigheid.
Het chuck-systeem behoudt een vlakheid van 3 µm en verticale stijfheid van minder dan 15 µm per 10 N kracht op een 6-inch wafer, wat stabiele en nauwkeurige ondersteuning biedt tijdens meting of verwerking. De ProbeHead-plaat ondersteunt fixatie via vacuüm, magnetisch of HF-methoden, met een reikwijdte van 40 mm en een contact-/scheidingsslag van 0,2 mm, met een herhaalbaarheid binnen 1 µm.
Vereisten voor nutsvoorzieningen omvatten vacuüm bij -0,8 bar en perslucht bij 4 bar om de fixatie- en bewegingssystemen effectief te laten werken. De totale afmetingen van de apparatuur zijn 490 mm breed, 490 mm diep en 480 mm hoog, met een gewicht van ongeveer 60 kg.
Visueel omvat het systeem een roterend platform met een cirkelvormig platform en verstelbare knoppen voor fijn afstellen. Het hoofdlichaam is gehuisvest in een oranje-zwart omhulsel dat zowel optische als mechanische componenten integreert. Dubbele oculairs en meerdere objectieven zijn aanwezig voor gedetailleerde inspectie- en meettaken. Metalen handgrepen en instelknoppen bevinden zich op het basisplatform om handmatige aanpassingen te vergemakkelijken. Daarnaast maakt een witte bedieningskast met meerdere connectoren en kabels deel uit van de opstelling, wat wijst op externe bediening en connectiviteitsopties.
Deze configuratie maakt de Suss PM-5 geschikt voor halfgeleider-metrologie-toepassingen die nauwkeurige positionering en meting van wafers en substraten tot 6 inch diameter vereisen.
De volgende beschrijving is gegenereerd met behulp van kunstmatige intelligentie op basis van de beschikbare productinformatie. Deze beschrijving dient uitsluitend ter informatie en geeft mogelijk niet alle specificaties of voorwaarden weer. Neem contact met ons op als u precieze of bevestigde details nodig heeft.
Wafer/substraatgrootte: tot 6"/150 diameter
X-, Y- en thetafase
Planariteit boven 6": <10 µm
Resolutie: 5 µm
Bewegingsbereik: 155 x 155 mm
Belastingsslag Y-as: 90 mm
Z-hoogte verstelbereik: 10 mm
Z contact/scheidingsslag: 3 mm
Thetaverplaatsing (standaard): 360°
Thetaverplaatsing, fijn (optioneel): ±10°
Klauwplaat
Planariteit: 3 µm
Verticale stijfheid 6": <15 µm/10 N
Tasterbalk
Type bevestiging: Vacuüm, magnetisch, HF
Reisbereik: 40 mm
Contact/scheidingsslag: 0,2 mm
Herhaalbaarheid: 1 µm
Hulpprogramma's
Vacuüm: -0,8 bar
Perslucht: 4 bar
Afmetingen en gewicht
Breedte x Diepte x Hoogte: 490 x 490 x480mm
Gewicht: 60 kg
Houd er rekening mee dat deze omschrijving mogelijk automatisch is vertaald of geoptimaliseerd met kunstmatige intelligentie (AI). De informatie in deze advertentie is alleen indicatief. We raden aan de details voor aankoop bij de verkoper te controleren.
| Type klant | Machinehandelaar |
| Actief sinds | 2019 |
| Aanbiedingen online | 57 |
| Laatste Activiteit | 17 oktober 2026 |
Wafer/substraatgrootte: tot 6"/150 diameter
X-, Y- en thetafase
Planariteit boven 6": <10 µm
Resolutie: 5 µm
Bewegingsbereik: 155 x 155 mm
Belastingsslag Y-as: 90 mm
Z-hoogte verstelbereik: 10 mm
Z contact/scheidingsslag: 3 mm
Thetaverplaatsing (standaard): 360°
Thetaverplaatsing, fijn (optioneel): ±10°
Klauwplaat
Planariteit: 3 µm
Verticale stijfheid 6": <15 µm/10 N
Tasterbalk
Type bevestiging: Vacuüm, magnetisch, HF
Reisbereik: 40 mm
Contact/scheidingsslag: 0,2 mm
Herhaalbaarheid: 1 µm
Hulpprogramma's
Vacuüm: -0,8 bar
Perslucht: 4 bar
Afmetingen en gewicht
Breedte x Diepte x Hoogte: 490 x 490 x480mm
Gewicht: 60 kg
Houd er rekening mee dat deze omschrijving mogelijk automatisch is vertaald of geoptimaliseerd met kunstmatige intelligentie (AI). De informatie in deze advertentie is alleen indicatief. We raden aan de details voor aankoop bij de verkoper te controleren.
| Categorie | Halfgeleiders - Metrologieapparatuur |
| Software | |
| Draaiuren | |
| uur onder stroom | |
| staat | Goed |
| Volgens lokale normen | --------- |
| toestand | zichtbaar |
| Laatste beschikbaarheidsdatum | 10/03/2026 |
| Product-ID | P240314065 |
| Taal |
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 sonda
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
"Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
Suss PM-5 Prober
|
De Suss PM-5 is een precisie-metrologiesysteem ontworpen voor het hanteren van wafer en substraat met een maximale grootte van maximaal 6 inch (150 mm diameter). Het beschikt over een X-, Y- en Theta-positieconfiguratie die hoge nauwkeurigheid en flexibiliteit in positionering biedt. Het platform biedt een bewegingsbereik van 155 x 155 mm met een resolutie van 5 µm en vlakheid onder de 10 µm over 6 inch, wat zorgt voor precieze uitlijning. De Y-as heeft een belastingsslag van 90 mm, terwijl het Z-hoogteverstellingsbereik 10 mm is met een contact-/scheidingsslag van 3 mm. De standaard Theta-reis maakt een volledige 360° rotatie mogelijk, met een optionele fijne Theta-reis van ±10° voor verbeterde hoeknauwkeurigheid.
Het chuck-systeem behoudt een vlakheid van 3 µm en verticale stijfheid van minder dan 15 µm per 10 N kracht op een 6-inch wafer, wat stabiele en nauwkeurige ondersteuning biedt tijdens meting of verwerking. De ProbeHead-plaat ondersteunt fixatie via vacuüm, magnetisch of HF-methoden, met een reikwijdte van 40 mm en een contact-/scheidingsslag van 0,2 mm, met een herhaalbaarheid binnen 1 µm.
Vereisten voor nutsvoorzieningen omvatten vacuüm bij -0,8 bar en perslucht bij 4 bar om de fixatie- en bewegingssystemen effectief te laten werken. De totale afmetingen van de apparatuur zijn 490 mm breed, 490 mm diep en 480 mm hoog, met een gewicht van ongeveer 60 kg.
Visueel omvat het systeem een roterend platform met een cirkelvormig platform en verstelbare knoppen voor fijn afstellen. Het hoofdlichaam is gehuisvest in een oranje-zwart omhulsel dat zowel optische als mechanische componenten integreert. Dubbele oculairs en meerdere objectieven zijn aanwezig voor gedetailleerde inspectie- en meettaken. Metalen handgrepen en instelknoppen bevinden zich op het basisplatform om handmatige aanpassingen te vergemakkelijken. Daarnaast maakt een witte bedieningskast met meerdere connectoren en kabels deel uit van de opstelling, wat wijst op externe bediening en connectiviteitsopties.
Deze configuratie maakt de Suss PM-5 geschikt voor halfgeleider-metrologie-toepassingen die nauwkeurige positionering en meting van wafers en substraten tot 6 inch diameter vereisen.
De volgende beschrijving is gegenereerd met behulp van kunstmatige intelligentie op basis van de beschikbare productinformatie. Deze beschrijving dient uitsluitend ter informatie en geeft mogelijk niet alle specificaties of voorwaarden weer. Neem contact met ons op als u precieze of bevestigde details nodig heeft.
| Type klant | Machinehandelaar |
| Actief sinds | 2019 |
| Aanbiedingen online | 57 |
| Laatste Activiteit | 17 oktober 2026 |
English (EU)
English (GB)