| Fabrikant | Gasonics |
|---|---|
| Model | 9104 |
| Bouwjaar | |
| Plaats | Verenigde Staten
|
| Categorie | Halfgeleiders - Waferapparatuur |
| Grootte van de wafel | 20.32 cm |
| Draaiuren | |
| uur onder stroom | |
| staat | Goed |
| Volgens lokale normen | Ja |
| toestand | |
| Laatste beschikbaarheidsdatum | 05/02/2026 |
| Product-ID | P241023247 |
| Taal |
Gasonics 9104 плазмен ашър
Gasonics 9104 plazma asher
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 Plasmaschleuder
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 plasma asher
Arandela de plasma Gasonics 9104
Gasonics 9104 cendres à plasma
Gasonics 9104 plazma čistač
Gasonics 9104 plazma asher
Gasonics 9104 plasma asher
"Gasonics" 9104 plazminis ašeris
Gasonics 9104 plasma asher
Laser plazmowy Gasonics 9104
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 asher cu plasmă
Gasonics 9104 плазменный ашер
Gasonics 9104 plazma asher
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 plazma asher
|
Het Gasonics 9104 Ash/Etch-systeem is ontworpen voor de verwerking van halfgeleiderwafers, compatibel met wafergroottes tot 20,32 cm (8 inch). Het beschikt over een kwarts verwerkingskamer met een diameter van ongeveer 14 inch (ongeveer 35,5 cm) en een diepte van 20 inch, geschikt voor toepassingen met gefluorideerde chemie. De kamer bevat externe RF-elektroden en is uitgerust met een kwarts-gecoate thermokoppel voor temperatuurmonitoring.
Dit systeem maakt gebruik van een ENI OEM 12B RF-generator die 1250 watt levert bij 13,56 MHz, luchtgekoeld met een automatisch impedantie-aanpassingsnetwerk; waterkoeling is optioneel beschikbaar. De procesdruk kan worden geregeld binnen een bereik van ongeveer 120 tot 2000 mtorr. Roestvrijstalen leidingen zorgen voor duurzaamheid en lage deeltjesverontreiniging.
De besturing wordt beheerd via een multi-channel single-board computer met een kleuren touchscreen van 12,1 inch voor procesbewaking en -controle, die automatische recepten en handmatige plasmabehandelingen ondersteunt. Het bedieningspaneel bevat een noodstopschakelaar, AAN- en UIT-knoppen, een numeriek toetsenbord en een diskette-aandrijving voor gegevensopslag.
Gaslevering omvat twee massastroomregelaars met roestvrijstalen VCR-koppelingen, elk in staat om tot 500 sccm te beheren, met opties voor extra gaskanalen. De stroomvereisten zijn 208 tot 240 volt, 3-fasig, 50/60 Hz met een 5-draads wye-configuratie.
Het systeem is ondergebracht in een roestvrijstalen behuizing met een NEMA-12 wandmontageontwerp, voorzien van een afsluitbare handgreep voor beveiliging. De behuizing bevat de AC-stroomregeling, voeding en pomp, waardoor aansluiting op één stroombron mogelijk is. De apparatuur vertoont een schoon uiterlijk met geringe gebruikssporen, waaronder een klein gebied van verkleuring nabij het ronde vensterraam van de kamer en enige slijtage aan de aparte elektronische besturingseenheid. Het ronde raamglas is helder en intact, en het achterpaneel bevat diverse aansluitingen, koelventilatoren en noodstopbedieningen, allemaal in goede staat.
Dit Gasonics 9104-systeem is CE-gecertificeerd en geschikt voor de verwerking van wafers van 4", 6" en 8", met capaciteiten van ongeveer 100 wafers voor 4", 50-75 voor 6" en 50 voor 8".
De volgende beschrijving is gegenereerd met behulp van kunstmatige intelligentie op basis van de beschikbare productinformatie. Deze beschrijving dient uitsluitend ter informatie en geeft mogelijk niet alle specificaties of voorwaarden weer. Neem contact met ons op als u precieze of bevestigde details nodig heeft.
Gasonics/IPC 9104 as/ech systeem
12"(dia) x 20"(D) kwartsvat
zacht pompen en spoelen
ontwerp met weinig deeltjes
2ea massastroomgasingangen met VCR-fittingen
alle SS-leidingen,
multikanaals-/één-kanaals computerbesturing, met floppy-opslag
temperatuurmonitor
ENI OEM 12B 1250W RF-generator
Wafergrootte: 4", 6", 8" mogelijk
Capaciteit: 50 8" wafers, 50-75 6" wafers, 100 4" wafers.Â
Kamer: Kwarts, compatibel met fluorchemie. Diameter 12" x diepte 20". Externe RF-elektroden.
RF-generator: 1250 watt 13,56 MHz luchtgekoeld met automatisch impedantieaanpassingsnetwerk. Watergekoeld optioneel.
Procesdruk: Ca. 120 - 2000 mtorr.
Roestvrijstalen leidingen.
Temperatuurbewaking: Thermokoppel met kwartscoating in de proceskamer.
Display: 12,1" kleurentouchscreen voor regeling en bewaking van procesparameters, automatische recepten of handmatige plasmabehandelingen.
Vier door de gebruiker gespecificeerde gassen met 500 sccm roestvrijstalen MFC's zijn standaard, met een optioneel 3e en/of 4e gaskanaal.
Stroomvereisten: 208 - 240 volt, 3 fase, 50/60 Hz 5-draads "wye".
Een NEMA-12 wandmontagebehuizing met vergrendelingshendel bevat de AC-voedingsregeling voor de asher, voeding en pomp, waardoor het complete systeem van één bron kan worden voorzien.
CE-gecertificeerd.
Houd er rekening mee dat deze omschrijving mogelijk automatisch is vertaald of geoptimaliseerd met kunstmatige intelligentie (AI). De informatie in deze advertentie is alleen indicatief. We raden aan de details voor aankoop bij de verkoper te controleren.
| Type klant | Machinehandelaar |
| Actief sinds | 2019 |
| Aanbiedingen online | 57 |
| Laatste Activiteit | 17 oktober 2026 |
Gasonics/IPC 9104 as/ech systeem
12"(dia) x 20"(D) kwartsvat
zacht pompen en spoelen
ontwerp met weinig deeltjes
2ea massastroomgasingangen met VCR-fittingen
alle SS-leidingen,
multikanaals-/één-kanaals computerbesturing, met floppy-opslag
temperatuurmonitor
ENI OEM 12B 1250W RF-generator
Wafergrootte: 4", 6", 8" mogelijk
Capaciteit: 50 8" wafers, 50-75 6" wafers, 100 4" wafers.Â
Kamer: Kwarts, compatibel met fluorchemie. Diameter 12" x diepte 20". Externe RF-elektroden.
RF-generator: 1250 watt 13,56 MHz luchtgekoeld met automatisch impedantieaanpassingsnetwerk. Watergekoeld optioneel.
Procesdruk: Ca. 120 - 2000 mtorr.
Roestvrijstalen leidingen.
Temperatuurbewaking: Thermokoppel met kwartscoating in de proceskamer.
Display: 12,1" kleurentouchscreen voor regeling en bewaking van procesparameters, automatische recepten of handmatige plasmabehandelingen.
Vier door de gebruiker gespecificeerde gassen met 500 sccm roestvrijstalen MFC's zijn standaard, met een optioneel 3e en/of 4e gaskanaal.
Stroomvereisten: 208 - 240 volt, 3 fase, 50/60 Hz 5-draads "wye".
Een NEMA-12 wandmontagebehuizing met vergrendelingshendel bevat de AC-voedingsregeling voor de asher, voeding en pomp, waardoor het complete systeem van één bron kan worden voorzien.
CE-gecertificeerd.
Houd er rekening mee dat deze omschrijving mogelijk automatisch is vertaald of geoptimaliseerd met kunstmatige intelligentie (AI). De informatie in deze advertentie is alleen indicatief. We raden aan de details voor aankoop bij de verkoper te controleren.
| Categorie | Halfgeleiders - Waferapparatuur |
| Grootte van de wafel | 20.32 cm |
| Draaiuren | |
| uur onder stroom | |
| staat | Goed |
| Volgens lokale normen | Ja |
| toestand | |
| Laatste beschikbaarheidsdatum | 05/02/2026 |
| Product-ID | P241023247 |
| Taal |
Gasonics 9104 плазмен ашър
Gasonics 9104 plazma asher
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 Plasmaschleuder
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 plasma asher
Arandela de plasma Gasonics 9104
Gasonics 9104 cendres à plasma
Gasonics 9104 plazma čistač
Gasonics 9104 plazma asher
Gasonics 9104 plasma asher
"Gasonics" 9104 plazminis ašeris
Gasonics 9104 plasma asher
Laser plazmowy Gasonics 9104
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 asher cu plasmă
Gasonics 9104 плазменный ашер
Gasonics 9104 plazma asher
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 plazma asher
|
Het Gasonics 9104 Ash/Etch-systeem is ontworpen voor de verwerking van halfgeleiderwafers, compatibel met wafergroottes tot 20,32 cm (8 inch). Het beschikt over een kwarts verwerkingskamer met een diameter van ongeveer 14 inch (ongeveer 35,5 cm) en een diepte van 20 inch, geschikt voor toepassingen met gefluorideerde chemie. De kamer bevat externe RF-elektroden en is uitgerust met een kwarts-gecoate thermokoppel voor temperatuurmonitoring.
Dit systeem maakt gebruik van een ENI OEM 12B RF-generator die 1250 watt levert bij 13,56 MHz, luchtgekoeld met een automatisch impedantie-aanpassingsnetwerk; waterkoeling is optioneel beschikbaar. De procesdruk kan worden geregeld binnen een bereik van ongeveer 120 tot 2000 mtorr. Roestvrijstalen leidingen zorgen voor duurzaamheid en lage deeltjesverontreiniging.
De besturing wordt beheerd via een multi-channel single-board computer met een kleuren touchscreen van 12,1 inch voor procesbewaking en -controle, die automatische recepten en handmatige plasmabehandelingen ondersteunt. Het bedieningspaneel bevat een noodstopschakelaar, AAN- en UIT-knoppen, een numeriek toetsenbord en een diskette-aandrijving voor gegevensopslag.
Gaslevering omvat twee massastroomregelaars met roestvrijstalen VCR-koppelingen, elk in staat om tot 500 sccm te beheren, met opties voor extra gaskanalen. De stroomvereisten zijn 208 tot 240 volt, 3-fasig, 50/60 Hz met een 5-draads wye-configuratie.
Het systeem is ondergebracht in een roestvrijstalen behuizing met een NEMA-12 wandmontageontwerp, voorzien van een afsluitbare handgreep voor beveiliging. De behuizing bevat de AC-stroomregeling, voeding en pomp, waardoor aansluiting op één stroombron mogelijk is. De apparatuur vertoont een schoon uiterlijk met geringe gebruikssporen, waaronder een klein gebied van verkleuring nabij het ronde vensterraam van de kamer en enige slijtage aan de aparte elektronische besturingseenheid. Het ronde raamglas is helder en intact, en het achterpaneel bevat diverse aansluitingen, koelventilatoren en noodstopbedieningen, allemaal in goede staat.
Dit Gasonics 9104-systeem is CE-gecertificeerd en geschikt voor de verwerking van wafers van 4", 6" en 8", met capaciteiten van ongeveer 100 wafers voor 4", 50-75 voor 6" en 50 voor 8".
De volgende beschrijving is gegenereerd met behulp van kunstmatige intelligentie op basis van de beschikbare productinformatie. Deze beschrijving dient uitsluitend ter informatie en geeft mogelijk niet alle specificaties of voorwaarden weer. Neem contact met ons op als u precieze of bevestigde details nodig heeft.
| Type klant | Machinehandelaar |
| Actief sinds | 2019 |
| Aanbiedingen online | 57 |
| Laatste Activiteit | 17 oktober 2026 |
English (EU)
English (GB)